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MFC 08常压在线配气装置

简要描述:MFC 08常压在线配气装置:应用高精度质量流量计对气体流量进行控制,通过高性能气体混合罐实现气体均匀混合,通过软件可针对每一路气体的流量进行调节和控制,并可进行配气应用方案设计,实现不同时间段配气浓度的自动调节。具备配气精度高、应用灵活、智能化等多个特点。

  • 更新时间:2023-07-27
  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 访  问  量:596
详细介绍

MFC 08常压在线配气装置

产品介绍

   MFC 08常压在线配气装置,应用高精度质量流量计对气体流量进行控制,通过高性能气体混合罐实现气体均匀混合,通过软件可针对每一路气体的流量进行调节和控制,并可进行配气应用方案设计,实现不同时间段配气浓度的自动调节。具备配气精度高、应用灵活、智能化等多个特点

产品功能

1、1-8组气体的流量输出控制
2、2-8组气体的在线均匀混合
3、配气方案智能控制,可对各组气体流量进行程序控制,可使各组气体流量根据预设程序进行调控
4、多种配气方式可选
5、可外接各类仪器、反应器等
6、混合、独立等多种气路外接方式
7、气体预热功能
8、智能气路清洗功能

混气装置:采用异形气体混合仓与气体扰流板技术

控制系统:全自动控制,并可对配气方案进行程序控制,实现流量、使用气体、使用时间的随意编程

气路系统:使用316L不锈钢管路及卡套式连接方式,使系统耐腐蚀、气密性好

气路控制系统:使用日本SMC电磁阀,并为每个气路设置单向阀,已防止气体逆行,所有电磁阀均由软件控制配气方案,可根据求,实现对每组气体的流量进行编程调整,即流量的多段控制

应用气体:NH3、N2、C3H8、C2H2、C3H4、SO2、CO2、NO2、CH4、Kr、HCl、O2、H2、NO、CO等

流量控制:0~200mL/min、100~500mL/min、500~1000mL/min 可选

工作压差:(0.1 ~ 0.5) MPa

工作耐压:3MPa

重复精度:±0.2%

工作精度:±1%

工作温度:5 ℃ ~ 45 ℃



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